1. 激光扫描显微镜(LSM)：利用激光束扫描样品表面，结合光学显微技术，实现高分辨率的表面形貌成像。适用于复杂的微纳米结构的表征。

　　2. 激光干涉测量仪：通过激光干涉原理进行高精度的表面轮廓测量，能够达到纳米级精度，广泛应用于表面粗糙度和厚度检测。

　　3. 激光剥离检测设备：该设备采用激光剥离技术，对晶圆的黏合层及结构完整性进行检测，适合于多层晶圆的质量控制。

　　4. 激光雷达(LIDAR)：利用激光脉冲和时间测量技术，获取晶圆三维形状信息，适用于大面积晶圆的快速检测。